请各位给我提供下磁控溅射方面的书籍

Question

我想更多的了解下磁控溅射方面的知识，因为有时出点问题往往找不到快要探讨的人，还有就是想更多的了解下现在磁控溅射的发展方向，谢谢

Answer 1

有关磁控溅射我建议你先看真空镀膜方面的书籍。因为专业介绍磁控溅射的书籍很少且不全面。原因是磁控溅射技术是在中频溅射的基础上用磁场束缚电子，使其可形成自维持放电。如果说要了解磁控溅射，了解通了中频溅射后，在原来理论基础上加上磁场的分布，一般工作问题便可以解决。
比如PVD（物理气象沉积技术）、CVD（化学气象沉积技术）溅射镀膜。
另外，有关磁控溅射的外界条件也需要研究：真空技术基础、等离子体、薄膜材料、性质以及溅射的控制方式等。
如果是初学的话，我建议你看东北大学的教材《真空镀膜技术》作者关奎之。另外，王怡德的《磁控溅射技术》09年5月上架，这本书还可以。本回答被提问者采纳