如题所述
1. 真空度测量范围: 9.999×10-1~1×10-52. 离子电流测量范围: 9.999×10-1~1×10-73. 测量误差: <10%4. 测量分辨率: 10-5pa5. 允许环境温度: -20℃~50℃6. 空气湿度: ≤80%RH7. 电源: AC/220V/50Hz±10%8. 外型尺寸: 420×290×210(mm)9. 高压输出: 脉冲30kV15kHz