真空镀膜的参考书目

如题所述

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第1个回答 2016-05-14

金原粲著，杨希光译：《薄膜的基本技术》，科学出版社，北京，1982。（金原粲著：《薄膜の基本技》，京大学出版会，京，1976。）

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真空镀膜的前处理流程是怎样的,谢谢答：2. **烘烤**：清洁后的基底和靶材通常需要进行烘烤，以去除表面的吸附水分和其他挥发性杂质。烘烤的温度和时间需要根据具体的材料和需求进行调整。3. **放入真空室**：清洁和烘烤完成后，基底和靶材需要放入真空镀膜设备的真空室中。这时，需要检查设备的密封性，以确保在镀膜过程中能够维持足够的真空度。

真空镀膜的种类答：真空镀膜主要分类有两个大种类：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。1、蒸发镀膜通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这种方法最早由M.法拉第于1857年提出，现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜设备结构如图1。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属...

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