1937年，沧源地区设立了设治局，其命名源于澜沧江支流的源头。1952年，这个地方被正式设为沧源县，并在1964年改为了自治县，标志着其行政区划的重要里程碑。
2000年，沧源佤族自治县的行政区域包括3个城镇和8个乡：首府勐董镇，人口数量为45443人，岩帅镇有16242人，勐省镇则有22667人。此外，团结乡、单甲乡、糯良乡、勐来乡、班洪乡、南腊乡和班老乡也各具特色，人口分别为14755人、10347人、13247人、14080人、13615人、9633人和7884人。
到了2001年，行政区划有所调整，县内设有3个镇、7个乡和1个民族乡，即勐董镇、岩帅镇、勐省镇、团结乡、单甲乡、糯良乡、勐来乡、班洪乡、班老乡和南腊乡，傣族彝族拉祜族乡作为一个特殊的民族乡，依然存在。
2004年8月26日，云南省政府发布批复（云政复[2004]85号），批准沧源佤族自治县单甲乡政府驻地从单甲村委会的单甲村迁移到永武村委会的永董村，这是当地政府在行政区划管理中的具体调整。
勐角傣族彝族拉祜族乡位于云南省西南缘，西邻缅甸。总面积2539平方千米。隶属沧源县，沧源县辖4个镇、6个乡（其中1个民族乡）：勐董镇、岩帅镇、勐省镇、芒卡镇、单甲乡、糯良乡、勐来乡、勐角傣族彝族拉祜族乡、班洪乡、班老乡；勐省农场。