高精度位移传感器各类高精度参数仪概述

Question

如题所述

Answer 1

机械高精度位移传感器的工作原理基于磁尺与磁头的相对位移，磁头产生的感应电压随磁尺磁场变化，将位移量转换成电信号。这种传感器在大型和精密机床中常用于位置检测，结构简单，使用方便，但需注意屏蔽和防尘。其优点在于动态范围大和磁信号可重录，但也有其局限性。

磁电式转速传感器通过磁盘与永久磁铁间的间隙变化，产生脉冲电势，从而测量转速。光电式转速传感器则利用光敏元件接收到的光脉冲，计数后得出转速，现代多采用开缝隙盘式结构。

高精度多普勒仪利用多普勒效应，通过发射机与接收机间距离变化导致信号频率差异，计算出被测物体的运动速度。电磁式和涡轮式流速仪分别通过检测电极电动势和感应脉冲电压，测量液体流量。

激光高精度位移传感器利用激光脉冲的往返时间计算微米级位移，适合长距离测量，但精度低于激光三角测量法，主要应用于微米或纳米级的位移、振动检测。激光三角测量法适用于近距离高精度测量，而回波分析法则适用于远距离测量，提供模拟量和开关量两种输出方式。

ZLDS10X激光三角测量法通过激光发射、接收和CCD线性相机的配合，精确计算传感器与被测物体的距离，输出模拟或开关量信号。而激光回波分析原理的传感器则由处理器、回波处理单元等组成，专为高精度位移测量而设计。