请问集成电路芯片生产的关键设备是什么?

如题所述

光刻机!芯片,本质上是一种大规模集成电路,而光刻机和蚀刻机都是在生产现代大规模集成电路过程中必不可少的设备,两种设备各司其职、不可互相替代。
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