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“晶圆”与“晶元”一样吗?
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推荐答案 2010-03-08
“晶圆”是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,形状为圆形,所以称为“晶圆”。
二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成高纯度多晶硅,此多晶硅再被融解,在融液中种入籽晶,然后慢慢拉出,形成圆柱状的单晶硅晶棒,此过程称为“长晶”。
硅晶棒再经切段、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻,最后包装后成为“晶圆”。
晶元?不知道是不是通“晶圆”?
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