如何解决真空镀铝过程中的铝垢飞溅问题

如题所述

推荐答案 2020-01-05

真空镀铝是把铝气化以附着到基材表面，固态铝经过预熔（固态→液态)、蒸发（液态→气态）两个阶段。
有铝垢飞溅可能有以下几个方面问题：1.预熔不完全（铝没有完全变为液态就进入蒸发阶段）导致大块铝掉到基材上；2.预熔时间过长（铝长时间保持液态而从蒸发源滴落）；3.蒸发室内壁长时间未清洗而有铝垢掉落；4.蒸发电压不稳定；5.蒸发源绝缘不达标

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其他回答

第1个回答 2010-05-03

看看是不是你送的丝太快了.坩埚上结铝了.这样的话就提高点温度.就可以了.还有可能就是坩埚用的时间太久了.马上更换.还有看看有没短路现象.有问题发[email protected]

第2个回答 2010-04-28

预热时间长一点，电压低一些。本回答被提问者采纳

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