先秦时的谥号以用一个字为常，也有用两三个字的。用一个字的如：秦穆公、晋文公；用两三个字的如魏安厘王、赵孝成王、 卫睿圣武公等。
汉代时期恢复谥法，而且这一时期谥法制度也日趋严密，朝廷中正式设立“大鸿胪”一职，管理王公列侯的谥法。汉代以后，谥号大多为两个汉字：汉文帝刘恒“谥号”全名为孝文帝，萧何谥为文终侯。
唐宋时期为谥法发展时期。谥法一方面成为封建帝王尊大谥以满足其虚荣心的工具，同时也成为驾驭群臣的褒贬手段。从女皇帝武则天开始，打破了皇帝一、二、三字谥号的旧例，她作为皇太后临朝称制时追谥丈夫唐高宗李治为“天皇大帝”，达四字。武则天称帝后，又开皇帝追尊四代祖宗的先例，更开创了皇帝生前叠加谀词上尊号谥美的先例，有的帝王活着的时候可以被奉上好几次尊号。如唐玄宗开元二十七年(公元739年)受尊号为“开元圣文神武皇帝”。尊号的累加也影响了谥号的累加，自唐高宗以后，大多数皇帝的谥号都在四个字以上。
皇后之“尊号”即“徽号”。如清代同治皇帝尊自己的生母那拉氏为“圣母皇太后”，上徽号为“慈禧”。徽号也可每逢庆典累加，那拉氏的徽号最后积有“慈禧端佑康颐昭豫庄诚寿恭钦献崇熙”多达16个字，而她的谥号为“孝钦慈禧端佑康颐昭豫庄诚寿恭钦献崇熙配天兴圣显皇后”23字谥（见慈禧条）。宋代皇帝谥号比唐时更加谥美，而且也开后代予大臣谥二字的定例。值得一提的是，宋太祖赵匡胤实行重文抑武，因此宋代大臣谥号多以“文”字为荣，终宋之世，谥号为“文”者达一百四十多人，为“武”者仅二十人。
明清时期，谥法内容基本固定下来。首先是各层级人员的谥号字数固定下来。
明代皇帝谥字为17字或21字（明太祖），亲王1字，郡王2字，大臣2字，例如
明成祖的谥号为：启天弘道高明肇运圣武神功纯仁至孝文皇帝
明仁宗的谥号为：敬天体道纯诚至德弘文钦武章圣达孝昭皇帝
明宣宗的谥号为：宪天崇道英明神圣钦文昭武宽仁纯孝章皇帝
明英宗的谥号为：法天立道仁明诚敬昭文宪武至德广孝睿皇帝
明代宗的谥号为：符天建道恭仁康定隆文布武显德崇孝景皇帝
明绍宗的谥号为：配天至道弘毅肃穆思文烈武敏仁广孝襄皇帝
清代皇帝谥字为21字（光绪帝）或23字或25字（努尔哈赤），和硕亲王1字，大臣2字，例如
咸丰帝的谥号为：协天翊运执中垂谟懋德振武圣孝渊恭端仁宽敏庄俭显皇帝
恭亲王奕欣的谥号为：忠
清代大臣的谥号规定：一品大臣过世，按例请皇帝决定是否授谥。一品以下官员除非特旨，例不授谥。得谥号者只有曾入翰林，或获授大学士者才用“文”字。而“文”字的两字谥中，又以“文正”最为难得；只能出自特旨，不能由群臣擅议；清朝二百多年只得八人获谥“文正”(如曾国藩)。文正以下的谥号则有：文忠(如李鸿章)，清朝只有约十人得此谥号；再之下者有“文襄”(只限文臣而有军功者，如左宗棠)、文恭、文成等等。
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