硅片是怎样制成集成电路的呢?

如题所述

1. 从单晶硅切割下来的硅片经过磨光和抛光处理,以获得平滑的表面。
2. 硅片表面氧化,形成一层氧化硅薄膜,为后续的光刻步骤做准备。
3. 进行光刻工艺,通过光刻机将电路图案转移到硅片上。
4. 进行埋层扩散,将特定的掺杂元素扩散到硅片表面,形成电路的埋层。
5. 进行外延生长,以增强硅片的导电性或形成特定结构的层。
6. 再次氧化硅片,形成绝缘层,为后续的扩散步骤做准备。
7. 进行隔离扩散,形成隔离区,以隔离不同的电路部分。
8. 氧化硅片,形成一层绝缘膜,为后续的光刻步骤做准备。
9. 进行基区扩散,形成PN结,作为电路的基础。
10. 氧化硅片,为后续的发射区扩散做准备。
11. 进行发射区扩散,形成电路的发射区。
12. 真空镀铝,在硅片上镀上一层铝,用于后续的电极制作。
13. 进行光刻,定义电极的形状。
14. 烧结工艺,形成欧姆接触,即在硅片上形成金属与半导体之间的良好接触。
15. 初测,对初步完成的集成电路进行测试。
后续工序包括:
16. 划片,将硅片分割成单个的集成电路。
17. 烧结基座,为集成电路提供支撑。
18. 键合,将芯片与载体连接。
19. 中测,对键合后的芯片进行第二次测试。
20. 包封,用塑料或其他材料封装芯片,保护其免受外界环境影响。
21. 老化,对封装后的芯片进行长时间测试,确保其可靠性。
22. 测试,对老化后的芯片进行性能测试。
23. 打印,通过激光或丝印技术在芯片上打印标识,如型号、生产日期等。
说明:上述工艺流程仅为一个例子,不同厂家的工艺名称可能有所不同,但基本步骤相似。MOS电路的工艺与上述工艺有所不同,具体差异未在文本中详细说明。
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