1. 从单晶硅切割下来的硅片经过磨光和抛光处理,以获得平滑的表面。
2. 硅片表面氧化,形成一层氧化硅薄膜,为后续的光刻步骤做准备。
3. 进行光刻工艺,通过光刻机将电路图案转移到硅片上。
4. 进行埋层扩散,将特定的掺杂元素扩散到硅片表面,形成电路的埋层。
5. 进行外延生长,以增强硅片的导电性或形成特定结构的层。
6. 再次氧化硅片,形成绝缘层,为后续的扩散步骤做准备。
7. 进行隔离扩散,形成隔离区,以隔离不同的电路部分。
8. 氧化硅片,形成一层绝缘膜,为后续的光刻步骤做准备。
9. 进行基区扩散,形成PN结,作为电路的基础。
10. 氧化硅片,为后续的发射区扩散做准备。
11. 进行发射区扩散,形成电路的发射区。
12. 真空镀铝,在硅片上镀上一层铝,用于后续的电极制作。
13. 进行光刻,定义电极的形状。
14. 烧结工艺,形成欧姆接触,即在硅片上形成金属与半导体之间的良好接触。
15. 初测,对初步完成的集成电路进行测试。
后续工序包括:
16. 划片,将硅片分割成单个的集成电路。
17. 烧结基座,为集成电路提供支撑。
18. 键合,将芯片与载体连接。
19. 中测,对键合后的芯片进行第二次测试。
20. 包封,用塑料或其他材料封装芯片,保护其免受外界环境影响。
21. 老化,对封装后的芯片进行长时间测试,确保其可靠性。
22. 测试,对老化后的芯片进行性能测试。
23. 打印,通过激光或丝印技术在芯片上打印标识,如型号、生产日期等。
说明:上述工艺流程仅为一个例子,不同厂家的工艺名称可能有所不同,但基本步骤相似。MOS电路的工艺与上述工艺有所不同,具体差异未在文本中详细说明。
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