潭柘寺始建于西晋永嘉元年（公元307年），寺院初名“嘉福寺”，清代康熙皇帝赐名为“岫云寺”，但因寺后有龙潭，山上有柘树，故民间一直称为“潭柘寺”。它距今已有近1700年的历史，素有“先有潭柘寺，后有北京城”的民谚。
潭柘寺位于北京西部门头沟区东南部的潭柘山麓，距市中心30余公里。寺院坐北朝南，背倚宝珠峰，周围有九座高大的山峰呈马蹄形环护，宛如在九条巨龙的拥立之下。高大的山峰挡住了从西北方袭来的寒流，因此这里气候温暖、湿润，寺内古树参天，佛塔林立，殿宇巍峨整座寺院建筑依地势而巧妙布局，错落有致，更有翠竹名花点缀期间，环境极为优美。
潭柘寺规模宏大，寺内占地2.5公顷，寺外占地11.2公顷，再加上周围由潭柘寺所管辖的森林和山场，总面积达121公顷以上。殿堂随山势高低而建，错落有致。北京城的故宫有房9999间半，潭柘寺在鼎盛时期的清代有房999间半，俨然故宫的缩影，据说明朝初期修建紫禁城时，就是仿照潭柘寺而建成的。现潭柘寺共有房舍943间，其中古建殿堂638间，建筑保持着明清时期的风貌，是北京郊区最大的一处寺庙古建筑群。整个建筑群充分体现了中国古建筑的美学原则，以一条中轴线纵贯当中，左右两侧基本对称，使整个建筑群显得规矩、严整、主次分明、层次清晰。其建筑形式有殿、堂、阁、斋、轩、亭、楼、坛等，多种多样。寺外有上下塔院、东西观音洞、安乐延寿堂、龙潭等众多的建筑和景点，宛如众星捧月，散布其间，组成了一个方圆数里、景点众多，样式多样，情趣各异的旅游名胜景区。潭柘寺不但人文景观丰富，而且自然景观也十分优美，春夏秋冬各有美景，晨午晚夜情趣各异，早在清代，“潭柘十景”就已经名扬京华。
如今的潭柘寺，殿宇巍峨、庭院清幽，殿、堂、坛、室各具特色，楼、阁、亭、斋景色超凡，古树名木、鲜花翠竹遍布寺中，假山叠翠、曲水流觞相映成趣，红墙碧瓦、飞檐翘角掩映在轻松翠柏之中，殿堂整齐、庄严宏伟。已故中国佛教协会会长赵朴初先生曾写联赞曰：“气摄太行半，地辟幽州先。”
潭柘寺不仅以古迹众多、风景优美吸引着四海宾朋、八方游客，而且近几年还修建了现代化的旅游服务设施，实行交通、住宿、餐饮、游览、娱乐、购物的一条龙服务，使景区成为享誉中外的旅游胜地。1997年，经北京市政府批准，僧团进驻，潭柘寺恢复了宗教活动。·西晋永嘉元年（公元307年）建寺，初名嘉福寺。
·唐代武则天万岁通天年间（696-697年），佛教华严宗高僧华严和尚来潭柘寺开山建寺，“持《华严经》以为净业”，潭柘寺就成为了幽州地区第一座确定了宗派的寺院，潭柘寺得到兴盛。
·唐代会昌年间，唐武宗李炎崇信道教，在道士赵归真和权臣李德裕的怂恿下，唐武宗下令在全国排毁佛教。潭柘寺也因此而荒废。
·五代后唐时期，著名的禅宗高僧从实禅师来到了潭柘寺，铲除荒夷，整修寺院，“师与其徒千人讲法，潭柘宗风大振”，才使潭柘寺走出了“武宗灭佛”的阴影，重又繁盛了起来。当时的潭柘寺也从此由华严宗改为禅宗。
·辽代时期由于幽州地区律宗大盛，而禅宗则发展缓慢，潭柘寺的香火衰微。
·金代，禅宗在中都（今北京）地区有了很大的发展，潭柘寺先后出现了数位禅宗大师，大大提高了寺院的声誉。金熙宗完颜亶于皇统元年（1141年）到潭柘寺进香礼佛，并拨款对潭柘寺进行了整修和扩建，这是第一位到潭柘寺进香的皇帝，使后代皇帝争相效仿，这对于进一步提高潭柘寺的地位，繁盛寺院香火，都起到了极大的推动作用。金熙宗将当时的寺名龙泉寺改为“大万寿寺”，拨款对潭柘寺进行了大规模的整修和扩建，开创了皇帝为潭柘寺赐名和由朝廷出资整修潭柘寺的先河。
·金大定年间，皇太子完颜允恭代表其父金世宗完颜雍到潭柘寺进香礼佛，当时的住持僧重玉禅师为此特写下了《从显宗幸潭柘》一诗，记述了当时的盛况，后于明昌五年（1194年）镌刻成碑，立于寺中，现此碑犹存，镶嵌在金刚延寿塔后边地阶的崖壁上。
·在金代，潭柘寺禅学昌盛，其代表人物是临济宗大师广慧通理禅师开性。开性是现今北京怀柔县人，9岁时在潭柘寺出家，拜戒振禅师傅为师，学习禅宗中临济宗佛学。后来云游辽东和齐鲁等地，遍访名山古刹，向各地高僧学习佛法，归来后在马鞍山竹林寺弘扬禅学。大定初年，潭柘寺的善海禅师带领僧众来到竹林寺，恭请开性回潭柘地任住持。开性任住持期间，在朝廷的资助下，对潭柘寺进行了长达11年的大规模整修和扩建，使潭柘寺的殿宇堂舍焕然一新。使潭柘寺的禅学从此中兴，开性也成了金中都地区公认的禅宗临济宗的领袖，使潭柘寺成为了临济宗的中心寺院。开性终老于寺中，圆寂后被佛门尊为“广慧通理”禅师。
·元代元世祖忽必烈的女儿，妙严公主为了替其父赎罪，而到潭柘寺出家。后终老于寺中，她每日里在观音殿内跪拜诵经，“礼忏观音”，年深日久，竟把殿内的一块铺地方砖磨出了两个深深的脚窝。现今妙严公主“拜砖”依然供奉在潭柘寺的观音殿内，是潭柘极为珍贵的一件历史文物。后妙严大师终老于寺中，其墓塔在寺前的下塔院。
·元代末期的元顺帝孛儿只斤.妥欢贴睦尔崇信佛教，特别是对当时名贯京城的潭柘寺极为青眯，元顺帝曾请潭柘寺住持雪涧禅师享用御宴，并且由皇妹亲自下厨，礼遇之高前所未有。
·明初重臣姚广孝法号道衍，被明太祖朱元璋挑选高僧，从侍燕王朱棣，建文帝削藩时，朱棣按照姚广孝的谋划，起兵“靖难”，从而夺取了皇位，即为明成祖。朱棣继皇帝位后，封姚广孝为僧录司左善世，庆寿寺钦命住持，后又加封为太子少师，赐名“广孝”，仍参与军政大事。功成名就之后，姚广孝辞官不做，而到京西的潭柘寺隐居修行，每日里与自己的老友，潭柘寺住持无初德始禅师探讨佛理。期间，明成祖朱棣曾到潭柘寺看望过他。据说当年修建北京城时，设计师就是姚广孝，他从潭柘寺的建筑和布局中获得了不少灵感，北京城的许多地方都是依照潭柘寺的样子修建的，太和殿就是仿照潭柘寺的大雄宝殿而建的，同为重檐庑殿顶，井口天花绘金龙和玺，所不同的是更高大了一些而已。后来姚广孝奉旨主持编纂《永乐大典》才离开了潭柘寺，但其在潭柘寺隐居修行时的住所少师静室，至今犹存遗址。
·明代从太祖朱元璋起，历代皇帝及后妃大多信佛，由朝廷拨款，或由太监捐资对潭柘寺进行了多次整修和扩建，使潭柘寺确立了今天的格局。
·明代的潭柘寺成为当时对外交流的一个窗口，许多外国人久慕潭柘寺的盛名，而纷纷到此来学习佛法，有的甚至终老于此，其中最著名的有日本的无初德始、东印度的底哇答思、西印度的连公大和尚等人。
·万历二十三年，达观大师奉神宗皇帝朱翊钧之命，任潭柘寺的钦命住持。在此期间，由万历皇帝的母亲慈圣宣文明肃皇太后出资，在达观大师的主持下，对潭柘寺进行了大规模的整修。达观大师与朝廷密切，经常奉诏进宫为皇室讲经说法，从而进一步加深了潭柘寺与朝廷的联系。
·在明代，潭柘寺曾进行了多次大规模的整修和扩建。宣德年间，“孝诚皇后首赐内币之储，肇造殿宇”，对潭柘寺进行了整修和扩建。从正统三年二月到第二年九月，潭柘寺又大兴土木，在皇室的资助下，扩建寺院，广造佛像。在此期间，英宗皇帝“诏考戒坛”，奉英宗皇帝之命，在寺内修建了戒坛，英宗皇帝赐名为“广善戒坛”，越靖王朱瞻墉还在寺内建造了一座高大的金刚延寿塔，正统四年，明英宗“颁大藏经五千卷”给潭柘寺。
·弘治十年（1497年），司礼监太监戴义出资作为工食费，并奏请明孝宗拨款，对潭柘寺再次进行了整修和扩建。正德二年（1507年）三月到次年九月，潭柘寺又进行了历时一年半的整修，“殿庑堂室焕然一新，又增僧舍五十余楹”，再一次扩大了寺院的规模。万历二十二（1594年），由孝定皇太后出资，整修潭柘寺，增添殿宇，并建造了方丈院等房舍80余间。
·明代的200多年期间内，皇帝几次对寺院赐名，因而寺名几次更改。明宣宗赐名“龙泉寺”，天顺元年，明英宗“敕改仍名嘉福寺”，但民间仍称其为潭柘寺。
·清康熙二十五年（1686年），康熙皇帝降旨，命阜成门内广济寺的住持僧，著名的律宗大师，与自己相交多年的震寰和尚为潭柘寺的钦命住持。当年秋天，康熙皇帝驾临潭柘寺进香礼佛，并且留住了数日，赏赐给潭柘寺御书金刚经10卷、药师经10卷、沉香山1座、寿山石观音1尊、寿山石罗汉18尊。
·康熙三十一年，康熙皇帝亲拨库银1万两，整修潭柘寺。在震寰和尚的亲自主持下，从康熙三十一年秋到三十三年夏，历时近两年，整修了殿堂共计300余间，使这座古刹又换新颜。
·康熙三十六年，康熙皇帝二游潭柘寺，亲赐寺名为“敕建岫云禅寺”，并亲笔题写了寺额，从此潭柘寺就成为了北京地区最大的一座皇家寺院。
·康熙三十七年，康熙皇帝为牌楼亲题匾额，并赐给潭柘寺桂花12桶和龙须竹8杠，这就是我们现今在寺中所见到的“金镶玉”和“玉镶金”竹。
·康熙三十八年，康熙皇帝命著名的律宗高僧止安律师为潭柘寺的钦命住持，并赐给潭柘寺镀金剑光吻带四条，安装在大雄宝殿的殿顶上，现今这四条金光闪闪的吻带依然完好如初。
·清雍正年间一向深居简出的雍正皇帝也专程到潭柘寺进香礼佛。
·乾隆七年（1742年），乾隆皇帝第一次游幸潭柘寺，“赐供银二百金、匾额九、楹联二、诗二、章幅子一轴、法琅五供一堂”。在潭柘寺到处都留下了乾隆皇帝的墨宝。乾隆九年，乾隆皇帝把御笔心经和自己手书的诗篇赐给了潭柘寺。
·嘉庆皇帝也像其前辈一样，崇信佛教，他也曾到潭柘寺进香礼佛，游玩赏景，现留有其所作的《初游潭柘岫云寺作》五言诗一首。
·1929年蒋介石来北京时，曾专程到潭柘寺去进香。
·1950年，北京市园林局接管了潭柘寺，稍加整修后，作为名胜古迹景区向游人开放，成为北京市首批开放的七个公园景区之一。
·1956年，全国人大朱德委员长到潭柘寺视察，指示有关部门，要修建一条从门头沟通往潭柘寺的公路，为前来游览的人们提供交通上的方便。
·1957年夏，陈毅副总理到潭柘寺参观视察。
·1957年10月28日，经北京市人民政府批准，潭柘寺被列为北京市首批重点文物保护单位，对潭柘寺的文物保护工作起到了很大的作用。
·1964年春，全国政协委员、末代皇帝溥仪到寺参观考察。
文革期间，潭柘寺受到了空前的浩劫，文物遭到了毁坏和流失，建筑也受到了损坏，因而于1968年底被迫关闭，停止开放。
·1978年，北京市政府拨款，重修潭柘寺。这次重修不仅整修了殿堂，重塑了佛像，而且还修建了旅游服务设施。1980年7月，潭柘寺进行试开放，8月1日是正式游人开放。
·1997年初，潭柘寺恢复宗教活动。
·2001年6月，国务院确定潭柘寺为全国重点文物保护单位。
·2003年夏季，潭柘寺举办一系列庆典活动，庆祝建寺1696年周年。经考证潭柘寺创建于西晋永嘉元年（307），这个考证结果得到各界认同。
·2007年9月9日潭柘寺举行了隆重的建寺1700年周年庆祝活动。华严祖师
唐代武则天万岁通天年间（696-697年），佛教华严宗高僧华严和尚居住在幽州城北，“持《华严经》以为净业”，“其所诵时，一城皆闻之，如在庭庑之下”。在幽州都督张仁愿的赞助下，华严和尚来到了潭柘山开山建寺，购买了嘉福寺附近西坡姜家和东沟刘家的土地，以破败了的嘉福寺为中心，重建寺庙。华严和尚带领僧众填平了寺内一个叫“青龙潭”的大水坑，修筑殿宇，扩建寺院，开拓出了潭柘寺的雏形。寺院后山有两股丰盛的泉水，一眼名为龙泉，一眼名为泓泉，两股泉水在后山的龙潭合流后，流经寺院，向南流去，不仅满足了寺院日常的生活用水，而且还可能灌溉附近大片的土地农田，正是因为有了这股宝贵的泉水，此后附近才出现了平原、南辛房、鲁家滩等村庄。故而华严和尚将嘉福寺改为“龙泉寺”。潭柘寺有了一定的规模，并在幽州地区有了名气，逐步地发展、兴盛了起来，所以后人尊华严和尚为潭柘寺的“开山祖师”。华严和尚也因此而名列《续高僧传》。
从实禅师
后唐时期（924——936），最著名的僧人便是从实禅师，他弘法于幽州城内的大万寿寺以及潭柘寺。据寺内明正德六年（1511）谢迁《重修嘉福寺碑记》：“潭柘山者距城西二舍许，当马鞍山之西，有泉汇而为梯潭，土宜柘木因以得名。后唐时有从实禅师与其徒千人讲法于此，后遂示寂华严祖堂……。”
广慧通理禅师
临济宗大师广慧通理禅师开性是金代禅学的代表人物。开性是现今北京怀柔县人，9岁时在潭柘寺出家，拜戒振禅师傅为师，学习禅宗中临济宗佛学。后来云游辽东和齐鲁等地，遍访名山古刹，向各地高僧学习佛法，归来后在马鞍山竹林寺弘扬禅学。大定初年，潭柘寺的善海禅师带领僧众来到竹林寺，恭请开性回潭柘地任住持。开性任住持期间，在朝廷的资助下，对潭柘寺进行了长达11年的大规模整修和扩建，使潭柘寺的殿宇堂舍焕然一新。开性还整顿了寺院的僧务，制定了《寺中规条》，作为寺内僧众的生活规范。开性在寺内弘扬佛法，并著有《语录》3篇，使潭柘寺的禅学从此中兴，开性也成了金中都地区公认的禅宗临济宗的领袖，使潭柘寺成为了临济宗的中心寺院。开性终老于寺中，圆寂后被佛门尊为“广慧通理”禅师。开性的弟子善照、了奇、圆通、广温、觉本等人，后来也都成为了临济宗的名僧。
政言禅师
政言禅师是广慧通理禅师的高徒，河南许昌人，自幼在乡里出家为僧，后来来到中都，在马鞍山竹林寺向广慧通理禅师学习临济宗佛法，深得真传，学有所成。广慧通理禅师在潭柘寺圆寂后，政言禅师继任后，“开法席，讲禅学”，弘扬临济宗佛学，并著有《禅说金刚歌》、《金台录》、《真心真说修行十法门》等著作，“皆行于世”。
相了禅师
相了禅师是金代又一位著名的临济宗大师辽宁省义县人，自幼出家，钻研禅学，造诣很深，明昌年间，应岐国大长公主之请，出任潭柘寺住持，使潭柘寺“宗风大振”。在此期间，相了禅师还对寺院进行了大规模的整修和扩建。后来相了禅师又先后担任过天王寺、竹林寺等名刹巨寺的住持，在中都地区有着很高的声望，被公认为是当时临济宗的代表人物，后归老于潭柘寺。
无初德始禅师
无初德始禅师为日本信州人，即现今的日本长野县，德始字无初，号终极，幼年在本州出家，研究禅宗佛学。为了深入钻研禅宗佛学，无初德始于青年时随日本商船来到中国，到杭州灵隐寺，向慧禅师学习禅宗佛学，“深得单传之旨，后东归，国人景仰，尊为禅祖。”明初洪武年间，德始再次来到中国，遍游名山大川，向各地的高僧大德学习佛法。后来在北京的庆寿寺，无初德始遇到了名僧姚广孝，二人相见恨晚，每日里研讨佛法，“相与激扬临济宗旨”，二个一见如故，结为挚友。姚广孝对无初德始禅师高深的佛学造诣十分钦佩，欲将其所任的庆寿寺主持相让，德始谦而不受，再次到中国各地去云游求学，遍访名山古刹，深入学习禅宗之学。永乐十年（1412年），姚广孝向明成祖朱棣推荐了德始禅师，明成祖任命德始为潭柘寺钦命住持。“师钦承明旨，早夜孜孜，以缮修为务，凡栋户蠹敝者，易之；阶圮者，构之；丹垩剥落者，新之。比旧有加焉。”德始禅师拿出了自己多年的积蓄，对寺院进行了整修。除此之外，他还用献王布施的百两黄金，在寺内建造了一座金彩庄严的西方三圣殿。在任住持期间，德始禅师为了整修寺院日夜操劳，废寝忘食。他还四次主持道场，弘扬临济宗佛法，繁盛了潭柘寺的香火。德始禅师品德高尚，他赈济贫困，薄于奉已，厚以待人，受到佛教界内外的尊崇，在明代佛教史上有很高的地位。德始禅师对中国的诗文有着很深的造诣，并且善于书法，现今少林寺的蒲庵碑就是德始所书写的，郭沫若曾写诗对其进行了颂扬。德始在中国居住了56年，是日本在华高僧留居中国时间最长的一位，为中日文化交流，中日两国的友好往来做出了杰出的贡献。宣德四年（1429年），德始禅师在潭柘寺圆寂，其墓塔在寺前的下塔院内。
底哇答思大师
底哇答思大师是明代初期潭柘寺的另一位著名的外国僧人。底哇答思是东印度人，8岁出家为尼。明代洪武初年，随其师板的达到中国游历。明太祖朱元璋在南京奉天门召见了底哇答思，并亲赐其度牒，让底哇答思在南京“随方说法”，进出皇宫内苑，为后妃们讲经说法。1428年，底哇答思来到了北京，1435年到了潭柘寺。她认为这里就是她所理想的“西天佛国”遂在寺院西侧建造了一座庵堂，作为自己的终老之所。底哇答思大师还出资重新油饰了潭柘寺的大雄宝殿，并经常用自己的资财，救济附近的贫苦百姓，从而受到了寺僧和附近百姓们的尊敬。正统三年三月初一，90岁的底哇答思大师在潭柘寺圆寂，佛门尊其为“政禅师”，其墓塔建在寺前的下塔院内。
道源禅师
道源禅师是西印度人，在本土出家，精通戒律，学有所成。在北京地区佛门颇有名气。正统年间，奉英宗皇帝之命，在寺内修建了一座戒坛，开坛传戒，明英宗钦命道源禅师为传戒宗师，潭柘寺住持，成为漂柘寺广善戒坛的开山祖师，后圆寂寺内，其墓塔也在寺前的下塔院内。天顺二年，复僻后的英宗皇帝派礼部郎中李和前去祭拜道源禅师墓塔，并刻立“谕祭碑”，以示纪念。
达观真可大师
达观真可大师是“明代四大高僧”之一。达观真可大师俗姓沈，名真可，字达观，晚年号紫柏，江苏吴江人，出家于苏州的云岩寺。万历年间（1573年），达观北游京城，拜遍融、笑岩等佛学大师为师，深得真传，学有所成后，出游全国的名山大川。达观大师主要师从于临济宗第28代传人笑岩大师，但他并不拘泥于一家之说，而是对佛教的各宗派采取了兼融并重的态度，广蓄博收，从而使他的学识十分渊博。在云游天下途中，达观在各大名寺遍览经书，万历十七年，达观大师开始在山西五台山的呈兴寺整理以前的经卷时发现大多是汉文中夹杂着梵文，很不便于阅读，因而决定自己创造出一种《方册大藏经》。这项巨大的工程后来完成于浙江省余杭县的径山，因而又称为《径山藏》。达观大师在佛教界有着极高的声誉，后人将达观与莲池、藕益、憨山合称为“明代四大名僧”。
万历二十三年，达观大师奉神宗皇帝朱翊钧之命，任潭柘寺的钦命住持。在此期间，由万历皇帝的母亲慈圣宣文明肃皇太后出资，在达观大师的主持下，对潭柘寺进行了大规模的整修。达观大师与朝廷密切，经常奉诏进宫为皇室讲经说法，从而进一步加深了潭柘寺与朝廷的联系。达观在潭柘寺除了讲经说法，整饬佛规外，还在寺内建造了“一音堂静室”，作为自己的静修之所。达观文思敏捷，才华横溢，写下了不少赞咏潭柘寺诗文，其中著名的有《妙严公主拜砖赞》、《送龙子归龙潭文》、《潭柘怀缪中淳》、《日暮龙潭即目》、《再游潭柘寺》、《题别潭柘》等，皆流传于世。万历三十一年，京中发生了“妖书大案”，达观大师受到了牵连而被捕入狱。他因曾反对宦官征矿税，而引起了太监们的忌恨，在狱中，达观大师惨遭刑杖，于万历三十二年，惨死于狱中。达观大师一生著述甚多，他曾经续写了《高僧传》、著有《续灯录》、《紫柏尊者全集》30卷等，流传于后世。
震寰律师
震寰律师是清代潭柘寺钦命重开山第一代住持。震寰律师字震寰、名照福，孟姓，大兴县人，生于明万历七年（1634）。初依延禧寺名驰剃染，受具戒于广济寺万钟律师，精进潜修，足不逾阃者十有五年，究求律学，跻辈钦止争师事之。万钟寂后，寺众同词请师继席。誉望日高，徒学益众。康熙二十五年春，奉康熙皇帝之命住持潭柘岫云寺，自是法侣景从，云合雾集，檀越辅辏，不可亿算。主持创建毘卢阁、三圣殿、斋堂、重修大雄殿、圆通殿、药师殿、迦蓝殿、祖师殿、钟鼓楼、山门牌楼等工程。光大法门，弘扬律仪门风，潭柘一时轮奂，崖壑交辉，为西山诸刹之冠。师深受康熙帝契重，曾三次临幸潭柘。并作诗赞震寰：“法像俨然参涅盘，皆因大梦住山间，若非明镜当台语，笑指真圆并戒坛。”师逝于康熙三十八年（1699），寿六十六，法腊三十二。
止安超越律师
清代钦命潭柘寺第二代止安超越律师，名超越，大兴县人，王姓。康熙十四年（1675）于戒台寺道光和尚座下圆具，二十五年（1676）任潭柘寺监院。动静尊严，德性坚定，日有恒课，不牵外缘，入夜焚香趺坐净修，自摄其心，康熙三十三年（1694）大殿毁于火，赐帑重修，将建时有一柱初欲置左，众欲右之，抬不能升。师祝之曰：我右汝也。不数人抬之以去。住持震寰见其诚感木石，知有自来。康熙帝游幸时奏对从容，帝称其品度比之仙露明珠，为之嘉赏。康熙三十八年（1699）震寰示寂，奉旨继主法席。明年与诸山长老赴畅春园，将觐见颜，适虎圈有虎怒，吼威狞狞，众莫敢近。师突前曰：汝由性暴故坠虎身，今犹不改，性必终迷。汝伏，吾为汝说三皈，可得解脱耳。虎遂驯服，说毕帖然曳尾而去。生平奇迹此类甚多，恐涉怪诞，令门徒不以语人。师总摄寺务不辞辛苦，监造东西厢房，两角门，建震寰和尚塔。康熙四十一年夏（1702）疾逝，寿六十一，腊二十七。
林德彰律师
清代钦命第三任住持林德彰律师名道林、字德彰，河间人。少依龙坡寺乾宗为师，后于广济寺道光和尚座下圆具。康熙四十一年（1702）钦命主持潭柘法席，为第三代住持。在寺领众，持诵参礼倾刻无间，常领众绕寺内舍利塔念佛不辍。经年塔忽放光，后每岁常如此。远近见闻无不归心。师住持潭柘二十余年，兴造最多，监造观音殿、文殊殿、祖师堂、龙王殿、大悲殿、孔雀殿、地藏殿、少师静室，建止安和尚塔及下院奉福寺塔。林德彰律师逝于康熙六十一年（1722）。寿六十一，发腊三十九。
恒实源谅律师
恒实源谅律师是河北省东光县人，最初拜潭柘寺的德彰道林律师为师，学习律学，雍正九年回归故里，后又到北京，赴潭柘寺参加龙华大会，并担任了引礼一职。此后恒实律师长住寺中，历任教受、羯摩等职，于乾隆六年任潭柘寺住持。在此期间，恒实律师在潭柘寺多次举办大法会，在佛教界有着很高的声望。清代帝后对恒实律师特加荣宠，乾隆皇帝曾赐给他一尊金护身佛，为了迎接这尊御赐的赤金护身佛，潭柘寺黄土铺道20里。恒实源谅律师著有《律宗灯谱》，记述律宗高僧的行实，流传于世。
静观圆瑞律师
静观圆瑞律师是山东省历城县人，“受具于潭柘洞主座下，即依止学律，历三寒暑”，学有所成，其后遍游京中名寺，于雍正年间入选“藏经馆”，整理《大藏经》，后来回到潭柘寺，历任引礼、尊证、教授、阇黎等职。恒实律师圆寂之后，静观继任潭柘寺住持，“以故潭柘道法之盛，春、冬戒期下，衲子景从之众，信施资助之殷，诚诸方所罕觏者也”，使潭柘道场之佛教活动有了进一步的发展。
了然行修律师
了然行律师顺天府宛平县籍，雍正五年（1727）生人。弱冠即厌尘俗，决志出家。父母为纳采，遂遁山林隐匿，寻从弥陀禅院超尘师剃染。乾隆十三年（1748）腊月八日圆具戒于潭柘山恒实和尚座下，遂于本山学律，调炼身心，遵循规矩于五分法身、无作妙色，冀有所自而生焉。
寻擢引礼、知客，从无愆忘，众皆刮目。复由监院、尊证而任教授、羯磨，已桑榆暮景矣，所谓大器晚成之非欤。及静公示寂，众心共戴，请践法席，不得已俯从众望，肩荷重担。尝曰：赵州八十行脚，犹能眼炼大千，吾今坐食现成，独不能毅然而率众乎。由是淬砺精神，凡所应作以身先之，大众莫不感奋。讵意仅历寒暑而法幢将倾，一日忽觉幻体沉重，知时已至。遂唤侍者沐浴更衣端坐，遗嘱谆谆、以未传戒法为愧。大众对以即时开戒以偿师愿，遂合掌念佛瞑目而去。享世八十有余。师在潭柘达六十年之久。
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