镀膜机真空度在什么都不变的情况突然下降，有立刻恢复是什么原因？

Question

如题所述

Answer 1

你好，我司肇庆振华真空机械有限公司专业研发生产各类真空镀膜设备！
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请问你镀的什么产品？你可以讲具体点。我们的镀膜过程中是慢慢有进气的。
有很短的时间真空度变低的，但是好快稳定还会真空度升回来．如果你的这样情况，可能是漏汽。

而且你是是哪种镀膜？加热还是通电流？如果是加热镀膜，管式炉的那种是要通气流，真空度是会有些不稳定，所以在开始蒸膜前应该要抽真空一段时间，并且要在通气之后稳定一段时间，一般我们要抽半小时以上，另外一种是真空镀膜仪，是通过调节电流来加热的，对于这种，由于你加热速度比较快，对你的真空环境的影响还是比较大的，一般你在开始通电的时候会使真空度变化比较大，这时你应该把电流再减小，稳定一下，多反复几次就好了，你在开电流的时候应该时刻注意真空度，一旦下去了就赶快关电流，否则会影响膜的质量的。

或是薄膜材料蒸发变成气体了，会有一点降低的。
或是离子镀的话，降低一些正常的。是正常的。
或是检漏呗。空抽状态下，是否有气泡渗入，不过如果真的是气泡渗入的话，那检漏将很难检出具体地方，也就很难排除故障了。

大概具体总结的有几个可能：
1。真空炉有微漏气。
2。机械泵换油。
3。炉内膜层太厚，要清炉。
4。扩散泵换油和清理，就会好了。

希望能帮助的到你~

Answer 2

你是1：打开精抽阀[主阀]镀膜机真空度突然下降，然后立刻恢复。2：还是刚开始镀膜时候真空度突然下降。还是别的情况！追问

真空度在10^-3pa量级的时候隔5分钟可能会突然下降一个数量级，然后又很快恢复到先前的真空度

追答

壹捌零贰叁陆零贰肆捌贰。有好多原因的，真空炉有微漏气，炉内膜层太厚，要清炉。扩散泵换油和清理。 你是镀什么产品，真空室有加热吗？ 想你抽速有慢吗？

Answer 3

你好！我想在抽高真空时是炉内放气大，你要检查：1.产品要进行烤箱烘烤干燥。2.炉内退镀清理。3.机械泵，罗茨泵换油清理。4.扩散清理换油。5.真空炉内是否有沙孔漏水。你检查吧，还有问题和我联系吧。本回答被网友采纳

Answer 4

高真空不稳定？追问

是的。请问有什么原因会引起这样的故障呢？

追答

扩散泵油加的太多了。。。放掉点试试~