三坐标机和激光干涉仪完全不是一类型的仪器，所以无法进行比较。
三坐标机
三坐标机主要是用于零部件尺寸和形位公差测量，是一种尺寸测量仪器，与它属于同类型的有轮廓仪、影像仪、闪测仪、工具显微镜、工业投影仪等等。
激光干涉仪
激光干涉仪主要是测量机床及自动化加工设备导轨精度的，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在机床、位移平台、直线电机、DD马达、电动滑台企业应用非常广泛。
题外话：目前国内SJ6000激光干涉仪在性能和参数方面和进口品牌不相上下，被各企业广泛选用，有需求的朋友可以去了解了解。
温馨提示：答案为网友推荐，仅供参考
第1个回答 推荐于2018-01-30
不具有可比性，因为：
三坐标测量仪是用来测量工件物体的尺寸包括尺寸之间的关系的，如长度，对称度，直径，圆柱度等尺寸和形位公差。
激光干涉仪是用来测量仪器的，如长度，垂直度等，但是仪器必须有移动轴或者外部有移动轴，若用干涉仪测量工件的长度，对不起了，测不了。哪个有好方法？
但是，估计楼主说的是激光跟踪仪吧？这种仪器是基于球坐标系的，依靠2个互相垂直的圆坐标，定位空间的任意一点的位置，例如瑞士莱卡LEICA的 AT401等，这种仪器的测量范围可达到直径几百米，适合测量大型工件。其实激光跟踪仪也可以称作特殊的三坐标的。缺点是精度稍差，不能和常规的三坐标测量机想比。本回答被提问者和网友采纳
三坐标测量仪是用来测量工件物体的尺寸包括尺寸之间的关系的，如长度，对称度，直径，圆柱度等尺寸和形位公差。
激光干涉仪是用来测量仪器的，如长度，垂直度等，但是仪器必须有移动轴或者外部有移动轴，若用干涉仪测量工件的长度，对不起了，测不了。哪个有好方法？
但是，估计楼主说的是激光跟踪仪吧？这种仪器是基于球坐标系的，依靠2个互相垂直的圆坐标，定位空间的任意一点的位置，例如瑞士莱卡LEICA的 AT401等，这种仪器的测量范围可达到直径几百米，适合测量大型工件。其实激光跟踪仪也可以称作特殊的三坐标的。缺点是精度稍差，不能和常规的三坐标测量机想比。本回答被提问者和网友采纳
第2个回答 2012-03-27
据我的了解三坐标有很多型号，不同型号的精度是不一样的，智泰会根据客户的特别需求提供不同精度的检测设备。所以不能说三坐标测量仪和激光干涉仪哪个精度高一些或低一些。本回答被网友采纳
第3个回答 2012-03-27
激光干涉仪是利用位移来测量的，现在的干涉仪精度在0.4PPM。有一些三坐标的厂家是用激光干涉仪来测量的像海克斯康，蔡司都是用安捷伦激光干涉仪来校准的。
第4个回答 2012-03-30
适用性不一样啊，可以告诉我你想测量什么东西吗？ 三坐标的精度一般是2~3μ以内，激光一般在0.5~0.7ppm（ppm是一摄氏度变化引起的误差在0.5~0.7μ）
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