有没有关于真空镀膜工艺的书籍，推荐下！

如题所述

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第1个回答 2012-08-10

（（现代光学薄膜技术））

第2个回答 2012-08-14

找这个人的张以忱，可以由浅入深

相似回答

请各位给我提供下磁控溅射方面的书籍答：如果是初学的话，我建议你看东北大学的教材《真空镀膜技术》作者关奎之。另外，王怡德的《磁控溅射技术》09年5月上架，这本书还可以。

关于介绍真空泵技术的书籍答：国内高校讲真空技术比较权威的是国防工业出版社的《真空设计手册》达道安版以及化学工业出版社的《真空工程技术》徐连海主编。讲的比较齐，但是版本比较老了，有些新的技术跟不上去。国内类似《真空》和《真空科学技术学报》等杂志一般十有八九都是介绍真空镀膜技术的，真空泵比较少。有一本王常继的老书...

怎么样才能学到真空镀膜技术,而不是单纯的操作?答：镀膜方法有很多种的，电镀法、溶胶法、溅射、电子束蒸发、热蒸发、PECVD、MOCVD、ECRCVD等等镀膜颜色，主要靠蒸镀经验，想知道为什么会呈现不同颜色，那你就得看些镀膜原理类的书籍。真空知识也好办，专门讲真空的书很多，多看些，然后自己多注意对照实际，学起来很容易。

真空镀膜的前处理流程是怎样的,谢谢答：真空镀膜是一种重要的薄膜制备技术，其前处理流程对于薄膜的性质和性能有着重要影响。以下是真空镀膜的一般前处理流程：1. **清洁**：所有待镀膜的部件，包括基底、靶材以及镀膜设备内部等，都需要进行彻底的清洁。对于基底，通常会用溶剂（如酒精、丙酮等）进行清洁，以去除表面的油污、灰尘等杂质。对于...

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