第1个回答 2023-09-13
你好.
智能工厂通信解决方案供应公司, LINKGENESIS
SECS是指 SEMI Equipment Communications Standard, GEM是 The Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment 的缩写，是支持生产半导体及显示器的通信协议.
支持SECS/GEM通信规范的代表性解决方案包括，对于200毫米晶圆生产线，有支持SECS通信的XComPRO和支持GEM通信的XGemPRO。对于300毫米晶圆生产线，有XGem300PRO可供选择。