一、定义不同
平面度：平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。
平行度：平行度公差是一种定向公差，是被测要素相对基准在方向上允许的变动全量。所以定向公差具有控制方向的功能，即控制被测要素对准基准要素的方向。
二、评定方法不同
平面度：
1、三远点法：是以通过实际被测表面上相距最远的三点所组成的平面作为评定基准面，以平行于此基准面，且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。
2、对角线法：是以通过实际被测表面上的一条对角线，且平行于另一条对角线所作的评定基准面，以平行于此基准面且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。
3、最小二乘法：是以实际被测表面的最小二乘平面作为评定基准面，以平行于最小二乘平面，且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。最小二乘平面是使实际被测表面上各点与该平面的距离的平方和为最小的平面。此法计算较为复杂，一般均需计算机处理。
4、最小区域法：是以包容实际被测表面的最小包容区域的宽度作为平面度误差值，是符合平面度误差定义的评定方法。
平行度：
1、测量面对面平行度误差
公差要求是测量面相对于基准平面的平行度误差。基准平面用平板体现，如右图所示。测量时，双手推拉表架在平板上缓慢地作前后滑动，用百分表或千分表在被测平面内滑过，找到指示表读数的最大值和最小值。
2、测量线对面平行度误差
公差要求是测量孔的轴线相对于基准平面的平行度误差。需要用心轴模拟被测要素，将心轴装于孔内，形成稳定接触，基准平面用精密平板体现，
如下图所示，测量时，双手推拉表架在平板上缓慢地作前后滑动，当百分表或千分表从心轴上素线滑过，找到指示表指针转动的往复点(极限点)后，停止滑动，进行读数。
3、测量线对线平行度误差
公差要求是测量孔的轴线相对于基准孔的轴线的平行度误差。
三、测量原理不同
平面度：数据采集仪可从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中，完全不需要人工去计算繁琐的数据，可以大大提高测量的准确率。
平行度：数据采集仪会从百分表中自动读取测量数据的最大值跟最小值，然后由数据采集仪软件自动计算出平行度误差，
最后数据采集仪会自动判断所测零件的平行度误差是否在平行度公差范围内，如果所测平行度误差大于平行度公差值，采集仪会自动发出报警功能，提醒相关操作人员该产品不合格。
参考资料来源：百度百科-平面度
参考资料来源：百度百科-平行度
平面度是指一个平面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差.不需要参考.平面度属于形状公差.
而平行度是指两平面或者两直线平行的程度,指一平面（边）相对于另一平面（边）平行的误差最大允许值.是需要有一个参考.平行度属于位置公差,