测量平面度和平行度的仪器有：偏摆仪、百分表、数据采集仪。
测量原理
平面度：数据采集仪从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，无须人工计算，提高测量的准确率。
平行度：数据采集仪从百分表中自动读取测量数据的最大值跟最小值，数据采集仪软件自动计算出平行度误差，并判断所测零件的平行度误差是否在平行度公差范围内。如果所测平行度误差大于平行度公差值，采集仪会自动发出报警功能，提醒相关操作人员该产品不合格。
扩展资料
平面度误差的测量方法和评定方法不同，数据处理的方法也不相同。选定某一测量方法和评定方法，可能直接得到实际表面的平面度误差值，如采用打表法进行测量，再用对角线法评定其平面度误差，则可不必进行数据处理，可直接得到测量结果。
采用水平仪进行测量，则不论采用何种评定方法，均需进行数据处理；而对于任何一种测量方法，如果按最小区域法来评定其平面度误差，都必须进行数据处理才能得到平面度误差值。
另外，测量基准面和评定基准面一般是不重合的，尤其是符合最小条件的评定基准面的位置是按实际表面的形状确定的，不可能在测量之前预先确定。且测量所得到的原始数据中的最大值与最小值并不一定是实际表面上的最高点和最低点、
故在数据处理之前，一般应根据所测数据对实际表面的形状特征进行大致分析，初步判断实际表面是凸形、凹形、鞍形或其它复杂形态，以免过多重复计算花费时间，必要时还可画出其数据空间分布示意图，进而确定其评定基准面。
参考资料来源：百度百科--平行度
参考资料来源：百度百科--平面度
三坐标测量机作为一种高精度的测量设备，可以用于平行度的测量。
三坐标测量机测量平行度操作步骤：
1. 将被测工件放置在三坐标测量机的测量台上，并确定工件的位置和方向。
2. 通过计算机程序控制三坐标测量机的探针移动，使其与被测工件的表面接触，并记录下接触点的位置坐标。
3. 根据需要测量平行度的两个面或线，可以分别对它们进行测量。例如，如果要测量一个平面与另一个平面的平行度，可以将探针分别移动到两个平面的位置，并记录下每个位置的坐标。
4. 通过计算机程序计算出每个接触点之间的距离和角度，以及它们之间的变化量。这些数据可以用来评估平行度误差的大小。
除了三坐标测量机，还有其他一些检测工具可以用于平行度的测量，如激光测量仪。
激光测量仪是一类非接触式的测量工具，通过将激光束照射到被测工件表面上，并使用传感器接收反射回来的激光束，可以测量出工件的形状和尺寸，从而可以评估平行度误差的大小。例如用SJ6000激光干涉仪来测量双直线导轨安装的平行度：
平行度的测量方法及检测工具有很多种，每种方法和工具都有其适用的场景和特点。在实际应用中，可以根据不同情况选择合适的测量方法和检测工具来进行平行度的测量。但不论是使用三坐标测量机还是激光干涉仪等精密测量工具，都需要注意操作的准确性和测量的精度，以确保测量结果的可靠性和准确性。