光学镀膜偏振差怎么调整

Question

如题所述

Answer 1

1、首先选择合适的膜系匹配，如五层减反膜采用Al2O3-ZrO2-Al2O3-ZrO2-MgF2等。
2、其次适当减小蒸发速率。
3、最后对氧化物膜料全部充氧反应镀，根据不同膜料控制氧进气量即可调整光学镀膜偏振差。