曝光机真空度低是什么原因(详细介绍下)

如题所述

第1个回答  2011-01-14
既然真空度低,那么肯定是哪个地方漏气,原因很多,可能是设备没有调试好,在就是设备老化,密封达不到要求,或者是哪个地方有漏气的,问题应该在这个范围之内!