memsåè¯çæææ¯åçãåè½ååºç¨ãç»æåå¶é ãå ³æ³¨ç¹ååºç¨å个æ¹é¢çåºå«ã
1ãææ¯åçï¼MEMSæ¯éè¿å¾®çº³å¶é ææ¯å¶é å¾®å°å°ºå¯¸çæºæ¢°ç»æåä¼ æå¨ï¼å©ç¨å¾®è§å°ºåº¦ä¸çæºæ¢°è¿å¨æç¥åæ§å¶ç°è±¡ãèè¯çæ¯éè¿å°å¤ä¸ªçµåå 件éæå¨å个è¯çä¸ï¼ä½¿ç¨çµæµåçµåæ§å¶åä¼ è¾ä¿¡å·ã
2ãåè½ååºç¨ï¼MEMSé常ç¨äºä¼ æãæ§è¡åæ§å¶åºç¨ãå®ä»¬å¯ä»¥ç¨äºå¶é å é度计ãéèºä»ªãååä¼ æå¨ãå¾®åå·å¤´çå¾®æºçµç³»ç»ãè¯çå广æ³ç¨äºè®¡ç®æºãé信设å¤ã家çµã汽车çµåãå»ç设å¤çé¢åï¼ç¨äºåå¨åå¤çæ°æ®ãæ§å¶çµè·¯åæä½ç³»ç»çã
3ãç»æåå¶é ï¼MEMSé常ç±å¾®æºæ¢°å 件ãä¼ æå¨ãçµåçµè·¯åå°è£ ææç»æï¼å®ä»¬å¯ä»¥å¨å¾®è§å°ºåº¦ä¸å®ç°æºæ¢°è¿å¨ãè¯çç±å导ä½ææï¼é常æ¯ç¡ ï¼å¶æï¼å ¶çµåå 件éè¿å å»åæ²ç§¯çå·¥èºå¨è¯ç表é¢ä¸æ建ã
4ãMEMSåè¯çé½å±äºå¾®çµåé¢åï¼ä½å®ä»¬çå ³æ³¨ç¹ååºç¨ææä¸åãMEMS主è¦å ³æ³¨å¾®æºæ¢°ç³»ç»åä¼ æå¨ç设计åå¶é ï¼èè¯ç主è¦å ³æ³¨éæçµè·¯ç设计åå¶é ã两è é常ä¼ç»åå¨ä¸èµ·ï¼ä»¥å®ç°æ´å¤æãåè½æ´å¼ºå¤§ççµå设å¤ã
MEMSçåè¯è§£é
1ãMEMSï¼Micro-Electro-Mechanical Systemsï¼æ¯å¾®çµåæºæ¢°ç³»ç»ç缩åï¼ä¹å«åå¾®çµåæºæ¢°ç³»ç»ã微系ç»ãå¾®æºæ¢°çï¼æ尺寸å¨å 毫米ä¹è³æ´å°çé«ç§æè£ ç½®ãå¾®æºçµç³»ç»æ¯å¨å¾®çµåææ¯(å导ä½å¶é ææ¯)åºç¡ä¸åå±èµ·æ¥çï¼èåäºå å»ãè èãèèãLIGAãç¡ å¾®å å·¥ãéç¡ å¾®å å·¥åç²¾å¯æºæ¢°å å·¥çææ¯å¶ä½çé«ç§æçµåæºæ¢°å¨ä»¶ã
2ãå¾®æºçµç³»ç»æ¯éå¾®ä¼ æå¨ãå¾®æ§è¡å¨ãå¾®æºæ¢°ç»æãå¾®çµæºå¾®è½æºãä¿¡å·å¤çåæ§å¶çµè·¯ãé«æ§è½çµåéæå¨ä»¶ãæ¥å£ãéä¿¡çäºä¸ä½çå¾®åå¨ä»¶æç³»ç»ãMEMSæ¯ä¸é¡¹é©å½æ§çæ°ææ¯ï¼å¹¿æ³åºç¨äºé«æ°ææ¯äº§ä¸ï¼æ¯ä¸é¡¹å ³ç³»å°å½å®¶çç§æåå±ãç»æµç¹è£åå½é²å®å ¨çå ³é®ææ¯ã