真空度能抽到多高？

Question

如题所述

Answer 1

要看用什么泵抽，目前使用机械泵做前级，罗茨泵做二级泵，扩散泵做三级。三个泵同时工作，可以抽到0.000001pa
不过现在真空领域有很多科技的进步，还有分子泵，冷凝泵的发明。
这是我找的一些资料
起动压强（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

涡轮分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10-1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10-2 <1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10-1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10-9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10-9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10-11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11
这里最低可以到
0.000000000013pa