半导体芯片互联中使用铜 和 使用铝 作为互联材料相比的优劣在哪里？

Question

如题所述

Answer 1

铜导电性能比铝好，这样同样尺寸的导线，用铜的电阻低，信号延迟小。追问

那么铜的缺点在哪里呢？现在主流使用铜采用了那些补救或者改进呢？谢谢

追答

可能和半导体工艺相关吧。采用铜做互联需要采用一些新的工艺、结构。印象中，有一种叫“大马士革”的方法，用来克服。而且需要把铜互联与硅隔离。