半导体硅片匀胶的作用是什么

Question

如题所述

Answer 1

匀胶的作用主要是讲光刻胶涂平，利用高速旋转的离心力。
匀胶的时候你可以看到滴到Wafer上的一滴液体（匀胶后会高温处理，蒸发掉其中水分，定型，说是固体，其实还是比较软的，后面plasma ETCH之前一般会有一步UVbake，进行加固）由中心向外侧扩散，一圈一圈的，直至完全变平。

Answer 2

保证硅片表面光刻胶的平整度，以免影响到光刻的精度和质量。

Answer 3

在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶，再进行曝光、显影，将光罩上的图形转移的光刻胶上，为后续的刻蚀、注入工艺服务。