半导体制造技术有点不明白：为什么要做外延层？离子注入掺杂时，比如说硼离子掺杂，那么发射的是硼离子还

Question

半导体制造技术有点不明白：为什么要做外延层？离子注入掺杂时，比如说硼离子掺杂，那么发射的是硼离子还是硼原子，如果是纯离子，如何保持电中性？谢谢。

Answer 1

1。外延生长的单晶硅质量比bulk silicon高，生产出来的transistor质量高，

2。发射的是硼离子, 掺杂完硅片接地电子就补充进来了，这样就电中性了。