清末时期，清政府对留学运动的态度发生了显著变化，面对日益革命化的留日学生，他们感到惊惧。自1906年起，政府开始实施一系列限制措施：停派速成班和官费生，要求申请留学者必须具备中学毕业学历并掌握外语，还需地方官出具保证不参与革命和服从学部及公使规定的学科和学校。这些规定导致留日学生人数大幅下降，1907年大约一万人，三年后骤降至两千多人。
随着赴日留学的低潮，欧美留学重新成为热门选择。清政府对欧美留学采取了更为宽松的政策，同时欧美各国，尤其是美国，积极吸引中国留学生。1908年，美国国会通过退还部分庚子赔款的决议，专门用于资助中国学生赴美学习，这促使留美热迅速升温。1905年仅有二三十名留美学生，到1910年已增至六百多人。同期，留欧学生数量也有所增长。欧美留学生以理工科为主，庚款留美学生中八分之八学习农工商矿等实用学科，而二分之二则专注于法政、理财和师范等专业。
新疆地区因为与俄国接壤，除了派遣满蒙学生去俄国学习，还特地派出了少量学童，专攻俄罗斯语言文字。
从19世纪70年代起﹐因办“洋务”的需要﹐清政府开始成批派遣学生出国留学﹔到20世纪初﹐因推行“新政”而派遣得更多﹔同时﹐广大知识分子为了寻求救国救民的真理﹐纷纷争取到国外学习﹐从而形成留学热潮。